ALD原子层沉积技术
金属铋两相流测试装置
过程控制装置
能源转化与过程控制实验装置
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装置整体尺寸1500*600*1800mm,工艺路线为乙苯经精确计量后进入预热器被气化,与氮气混合后进入固定床层,发生脱氢反应。
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